Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми
|
|
| Creator |
Копилець, І.А.
Кондратенко, В.В. |
|
| Description |
Описані особливості змін в структурі багатошарової композиції Sb/B₄С з кристалічним шарами Sb при нагріванні до 450 °С. Композиція Sb/B₄С виготовлена методом магнетронного розпилення і мала товщину шарів 7 нм (Sb) і 8,5 нм (B₄С). Дослідження проводилося за допомогою рентгенівської дифрактометрії на малих і великих кутах. Дані моделювання малокутових дифрактограм вказують на наявність перемішаних зон на межах чистих сурм’яних і B₄C шарів. Ці перемішані зони, з неоднорідним складом по товщині, при нагріванні розшаровуються та істотно зменшуються. Аморфний стан шарів B₄C і початкова текстура шарів Sb зберігаються в ході відпалів. Багатошарові періодичні композиції Sb/B₄С з періодом 15,6 нм і кристалічними шарами сурми демонструють досконалу шарувату будову до температури 350 °С.
Описаны особенности изменений в структуре многослойной композиции Sb/B₄С с кристаллическим слоями Sb при нагревании до 450 °С. Композиция Sb/B₄С изготовлена методом магнетронного распыления и имела толщины слоев 7 нм (Sb) и 8,5 нм (B₄С). Исследование проводилось с помощью рентгеновской дифрактометрии на малых и больших углах. Данные моделирования малоугловых дифрактограмм указывают на наличие перемешанных зон на границах чистых сурьмяных и B₄C слоев. Эти перемешанные зоны, с неоднородным составом по толщине, при нагревании расслаиваются и существенно уменьшаются. Аморфное состояние слоев B₄C и начальная текстура слоев Sb сохраняются в ходе отжигов. Многослойные периодические композиции Sb/B₄С с периодом 15,6 нм и кристаллическими слоями сурьмы демонстрируют совершенное слоистое строение до температуры 350 °С. Details of structure changes in the Sb/B₄С multilayer composition with crystalline Sb layers under heating up to 450 °С are described. The Sb/B₄С composition was made by magnetron sputtering and had layers’ thicknesses of 7 nm (Sb) and 8,5 nm (B₄С). The research was conducted using X-ray diffractometry at small and large angles. Computer modeling of the small-angle diffractograms indicates the presence of mixed zones at borders between the layers of pure antimony and B₄C. These mixed zones, with an inhomogeneous composition in thickness, delaminated and diminished substantially under heating. Amorphous state of the B₄C layers and the initial crystalline texture of the Sb layers saved during annealing. The Sb/B₄С multilayer periodic composition with a period of 15.6 nm, and with the layers of crystalline antimony, demonstrates the perfect stratified structure up to a temperature of 350 °С. |
|
| Date |
2018-02-16T08:58:50Z
2018-02-16T08:58:50Z 2017 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Особливості формування і вплив нагріву на структуру багатошарових композицій Sb/B₄ С з кристалічними шарами сурми / І.А. Копилець, В.В. Кондратенко // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 74–79. — Бібліогр.: 8 назв. — укр.
2519-2485 PACS: 68.65.Ac, 64.70.Nd, 61.05.Cm, 68.60.Dv, 07.85.Fv, 61.46.-w, 81.40.Ef http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/130538 539.216.2: 536.42 |
|
| Language |
uk
|
|
| Relation |
Журнал физики и инженерии поверхности
|
|
| Publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|