Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій
|
|
| Creator |
Азарєнков, М.О.
Дудін, С.В. Зиков, О.В. Фаренік, В.І. Яковін, С.Д. |
|
| Description |
Огляд присвячено дослідженням процесів генерації та транспортування іонних потоків у плазмових системах з комбінованими електричними і магнітними полями, які широко використовуються в технологіях іонно-плазмової обробки поверхні.
Обзор посвящен исследованию процессов генерации и транспортировки ионных потоков в плазменных системах с комбинированными электрическими и магнитными полями, которые широко используются в технологиях ионно-плазменной обработки поверхности. The review is devoted to experimental and theoretical study of ion beams generation and transport in plasma systems with combined electric and magnetic fields, which are widely used in the surface engineering plasma technologies. |
|
| Date |
2018-02-16T09:20:13Z
2018-02-16T09:20:13Z 2017 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Іонно-плазмові системи з комбінованими електричними і магнітними полями для мікро- і нанотехнологій / М.О. Азарєнков, С.В. Дудін, О.В. Зиков, В.І. Фаренік, С.Д. Яковін // Журнал физики и инженерии поверхности. — 2017. — Т. 2, № 2-3. — С. 119-142. — Бібліогр.: 48 назв. — укр.
2519-2485 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/130544 537.521.7 |
|
| Language |
uk
|
|
| Relation |
Журнал физики и инженерии поверхности
|
|
| Publisher |
Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України
|
|