Дослідження можливості збудження ультразвукови х-радіальних коливань у пластинах кремнію
eKMAIR
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Дослідження можливості збудження ультразвукови х-радіальних коливань у пластинах кремнію
Research of excitation possibility of radial ultrasonic vibrations in silicon wafers |
|
| Creator |
Оліх, Ярослав.
Деміденко, Олексій Лисюк, Ігор Романюк, Борис |
|
| Subject |
кремній
х-радіальне коливання низькотемпературний спосіб радіальне коливання |
|
| Description |
To describe radial waves in system consisted of thin disks a new theoretical approach of compound resonator has been proposed. The approach has been verified experimentally for compound resonator made from silicon (lll)-cut and piezoelectric disks. The approach can be used to determine resonance frequencies of compound resonator and distribution of displacement and stresses in semiconductor wafers. Запропоновано теоретичну модель складеного резонатора з пластини кремнію (І11)-зрізу і п'єзокераміки ЦТС-19 для опису збудження радіальних коливань у системі тонких дисків. Модель експериментальна перевірена. Результати методики розрахунку можуть бути використані для знаходження резонансних частот складеного резонатора, розподілу пружних зміщень і напругу напівпровідникових дисках |
|
| Date |
2016-02-16T10:13:46Z
2016-02-16T10:13:46Z 2004 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Дослідження можливості збудження ультразвукових радіальних коливань у пластинах кремнію / Я. М. Оліх, О. А. Деміденко, І. О. Лисюк, Б. М. Романюк // Наукові записки НаУКМА. - 2004. - Т. 23 : Фізико-математичні науки. - С. 53-58.
http://ekmair.ukma.edu.ua/handle/123456789/8358 |
|
| Language |
ua
|
|
| Relation |
Наукові записки НаУКМА: Фізико-математичні науки
|
|