Неруйнівна фотолюмінесцентна діагностика імплантованого кремнію
eKMAIR
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Неруйнівна фотолюмінесцентна діагностика імплантованого кремнію
Nondestructive photoluminescence diagnostics of the implanted silicon |
|
| Creator |
Рудько, Г.
|
|
| Subject |
фотолюмінесцентна діагностика
імплантований кремній легуючі домішки радіаційний дефект |
|
| Description |
The described photoluminescent methods of characterization give information about type and concentration of implanted ligants, in-site or interstitial position of the implanted ions in the lattice, and provide the control of the formation and destruction of radiation defects. Some new results obtained due to these methods application are reviwed.
Описані фотолюмінесцентні методики діагностики кремнію, які дозволяють контролювати вид та концентрацію легуючих домішок, аналізувати положення імплантованих іонів у кристалічній Тратці, відслідковувати появу, перетворення та розпад радіаційних дефектів. Наведено огляд деяких нових результатів, отриманих завдяки застосуванню цих методів. |
|
| Date |
2016-12-22T18:18:39Z
2016-12-22T18:18:39Z 1999 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Рудько Г. Ю. Неруйнівна фотолюмінесцентна діагностика імплантованого кремнію / Г. Ю. Рудько // Наукові записки НаУКМА. 1999. Т. 9 (2) : Спеціальний випуск. С.289-298.
http://ekmair.ukma.edu.ua/handle/123456789/10332 |
|
| Language |
ua
|
|
| Relation |
Наукові записки НаУКМА: Спеціальний випуск
|
|