Високотемпературний напівпровідниковий сенсор тиску на основі мікрокристалів кремнію
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Високотемпературний напівпровідниковий сенсор тиску на основі мікрокристалів кремнію
|
|
| Creator |
Дружинін, А. О.
Кутраков, О. П. Лавитська, О. М. Мар’ямова, І. Й. |
|
| Description |
Наведено результати комплексу робіт із створення п’єзорезистивного сенсора тиску, працездатного в умовах підвищених та високих температур. Елементною базою сенсора стали мікрокристали кремнію, а в основу конструкції покладено універсальний тензомодуль з пружно-чутливим елементом балочного типу і круглою мембраною. Наведено вихідні характеристики розробленого сенсора тиску. Results of the complex works on the piezoresistive pressure sensor development for operation at elevated and high temperatures are presented. The material basis for this sensor is silicon microcrystals while the sensor's design is based on the universal strain unit with a cantilever strain-sensitive element and a circular membrane. Output performance of the developed sensor is presented. |
|
| Date |
2017-04-12T11:10:41Z
2017-04-12T11:10:41Z 2000 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Високотемпературний напівпровідниковий сенсор тиску на основі мікрокристалів кремнію / А. О. Дружинін, О. П. Кутраков, О. М. Лавитська, І. Й. Мар ’ямова // Вісник Національного університету "Львівська політехніка". – 2000. – № 401 : Електроніка. – С. 30–33 . – Бібліографія: 4 назви.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/37335 |
|
| Language |
ua
|
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Publisher |
Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»
|
|