Модель мікроакселерометра ємнісного типу для автоматизованого проектування
Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Модель мікроакселерометра ємнісного типу для автоматизованого проектування
|
|
| Creator |
Теслюк, В. М.
Загарюк, Р. В. |
|
| Description |
Розроблена модель акселерометра ємнісного типу. Наведено результати моделювання у вигляді залежностей ємності, максимального зміщення та напруження конструкції від прискорення та розподілу напружень конструкції інтегрального пристрою для матеріалів Si, SiO2, Si3N4. Зроблено висновки щодо використання матеріалів для проектування та виготовлення мікроакселерометрів. Model of capacitive accelerometer is designed. Presented modeling results in the form of dependences of capacitance, maximal displacement and construction strain from the acceleration and construction strain distribution of integral device for following materials: Si, SiO2, Si3N4. Drawn conclusions about using materials in microaccelerometers design and fabrication. |
|
| Date |
2017-08-21T13:05:16Z
2017-08-21T13:05:16Z 2006 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Теслюк В. М. Модель мікроакселерометра ємнісного типу для автоматизованого проектування / В. М. Теслюк, Р. В. Загарюк // Вісник Національного університету «Львівська політехніка». – 2006. – № 564 : Комп’ютерні системи проектування. Теорія і практика. – С. 90–94. – Бібліографія: 18 назв.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/38796 |
|
| Language |
ua
|
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Publisher |
Видавництво Національного університету «Львівська політехніка»
|
|