Запис Детальніше

Методика автоматизованого визначення координат центрів вузлів тест-об’єкта за його РЕМ-зображеннями з використанням засобів MatLab

Електронний науковий архів Науково-технічної бібліотеки Національного університету "Львівська політехніка"

Переглянути архів Інформація
 
 
Поле Співвідношення
 
Title Методика автоматизованого визначення координат центрів вузлів тест-об’єкта за його РЕМ-зображеннями з використанням засобів MatLab
Methods of automated determination coordinates of the centers of the test object nodes in his SEM images using of MatLab
Методика автоматизированного определения координат центров узлов тест-объекта по его РЭМ-изображениям с использованием средств MatLab
 
Creator Іванчук, О.
Тумська, О.
Ivanchuk, O.
Tumska, O.
Иванчук, О.
Тумская, О.
 
Contributor Національний університет “Львівська політехніка”
 
Subject цифрові РЕМ-зображення
тест- об’єкт
бінаризація зображень
морфологічна філь- трація
автоматизація
MatLab
528.721.287
537.533.35
 
Description Наведено та описано окремі технологічні процеси
автоматизованого методу вимірювання координат
вузлів спеціального тест-об’єкта з роздільною здат-
ністю r = 1425 лін./мм для визначення дійсних значень
збільшень цифрових РЕМ-зображень та величин їх
геометричних спотворень, який розробили автори.
Результати досліджень підтвердили високу ефективність запропонованого методу розпізнавання вузлів тест-
об’єкта, який дає змогу отримувати координати вузлів
тест-об’єкта з точністю 1–3 піксели (0,1–0,3 мм), яка
співмірна з точністю вимірювань цифрових РЕМ-
зображень. Внаслідок цього можна визначити
параметри калібрування РЕМ-зображень з необхідною
точністю і значно швидше.
Presents and describes the individual processes
developed by the authors of the automated method of
special test object nodes coordinates measurements with a
resolution of r = 1425 lines/mm to determine the actual
values of digital magnification SEM images and values of
their geometrical distortions. The results showed a high
efficiency of the proposed method of recognition sites of
the test object with an accuracy of 1–3 pixels
(0,1–0,3 mm), which is comparable with the measurement
accuracy of PEM digital images. As a result, it is possible
to determine the calibration parameters SEM images with
the required accuracy and much faster.
Приведены и описаны отдельные технологические
процессы автоматизированного метода измерений
координат узлов специального тест-объекта с
разрешающей способностью r=1425 лин./мм для
определения действительных значений увеличений
цифровых РЭМ-изображений и величин их
геометрических искажений, который разработали
авторы. Результаты исследований показали высокую
эффективность предложенного метода распознавания
узлов тест-объекта с точностью 1–3 пикселя
(0,1–0,3 мм), которая соизмерима с точностью
измерения цифровых РЭМ-изображений. В результате
этого можно определить параметры калибрования
РЭМ-изображений с необходимой точностью и
значительно быстрее.
 
Date 2018-06-01T11:13:56Z
2018-06-01T11:13:56Z
2017-02-07
2017-02-07
 
Type Article
 
Identifier Іванчук О. Методика автоматизованого визначення координат центрів вузлів тест-об’єкта за його РЕМ-зображеннями з використанням засобів MatLab / О. Іванчук, О. Тумська // Сучасні досягнення геодезичної науки та виробництва. — Львів, 2017. — Том 1 (33). — С. 158–165.
http://ena.lp.edu.ua:8080/handle/ntb/41388
Ivanchuk O. Methods of automated determination coordinates of the centers of the test object nodes in his SEM images using of MatLab / O. Ivanchuk, O. Tumska // Suchasni dosiahnennia heodezychnoi nauky ta vyrobnytstva. — Lviv, 2017. — Vol 1 (33). — P. 158–165.
 
Language uk
 
Relation http://matlab.exponenta.ru/imageprocess/book2/inde
http://www.imagemagick.org/Usage/morphology/
1. Гонсалес Р. Цифровая обработка изображений / Р. Гонсалес, Р. Вудс. – М.: Техносфера, 2005. – 1072 с.
2. Гонсалес Р. Цифровая обработка изображений в среде MATLAB / Р. Гонсалес, Р. Вудс, С. Эддинс. – М.: Техносфера, 2006. – 616 с.
3. Іванчук О. М. Структура та функції програмного комплексу “Dimicros” для опрацювання РЕМ- зображень на цифровій фотограмметричній станції / О. М. Іванчук, І. В. Хрупін // Сучасні досягнення геодезичної науки та виробництва. – Львів, 2012. – Вип. I (23). – С. 193–197.
4. Іванчук О. М. Дослідження точності визначення дійсних величин збільшення (масштабу) цифро- вих РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ JCM-5000 (NeoScope) фірми JEOL // Геодезія,картографія і аерознімання. – Львів, 2012. – Вип. 76. – С. 80–84.
5. Іванчук О. М. Дослідження величин геомет- ричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ DSM-960A (Carl Zeiss, Німеччина) та точності їх врахування / О. М. Іванчук, Т. Барфельс, Я. Гееґ, В. Геґєр // Геодезія, картографія і аерознімання. – Львів, 2013. – Вип. 78. – С. 120–126.
6. Іванчук О. Дослідження геометричних спотво- рень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ JCM-5000 (NeoScope), та їх апроксимація // Вип. 1(18). – Наукові праці Донецького нац. техн. ун-ту. Серія: гірничо-геологічна. – Донецьк, 2013. – С. 91–97.
7. Іванчук О. Дослідження похибок збільшення (масштабу) цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ-106І (Суми, Україна) за допомогою спе- ціальних тест-об’єктів / О. Іванчук, М. Чекайло // Геодезія, картографія і аерознімання. – Львів, 2014. – Вип. 79. – С. 82–88.
8. Іванчук О. Дослідження геометричних спотво- рень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ-106 І (Суми, Україна) // Сучасні досягнення геодезичної науки та виробництва. – Львів, 2014. – Вип. ІI(28). – С. 74–77.
9. Іванчук О. Особливості калібрування геомет- ричних спотворень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на різних РЕМ // Сучасні досягнення геодезичної науки та виробництва. – Львів, 2015. – Вип. I(29). – С. 168–173.
10. Іванчук О. Дослідження геометричних спотво- рень цифрових РЕМ-зображень, отриманих на РЕМ JSM-7100F (JEOL, Японія), та точність їх апроксимації // Геодезія, картографія і аерозні- мання. – Львів, 2015. – Вип. 81. – С. 101–109.
11. Іванчук О. Розробка та дослідження технології автоматизації калібрування геометричних спотво- рень цифрових РЕМ-зображень / О. Іванчук, О. Тумська // Геодезія, картографія і аерознімання. – Львів, 2017. – Вип. 84.
12. Костышин М. Т. Квантовая электроника / М. Т. Костышин, К. С. Мустафин. – К., 1982. – Вып. 23. – С. 29–33.
13. Калантаров Е. И. Фотограмметрическая калибровка электронных микроскопов / Е. И. Калантаров, М. Ж. Сагындыкова // Изв. вузов. Геодезия и аэрофотосъемка. – M., 1983. – № 4. – С. 76–80.
14. Мельник В. Н. Калибровка геометрических искажений РЭМ-снимков / В. Н. Мельник, В. Н. Соколов, О. М. Иванчук, О. В. Тумская, М. П. Шебатинов // Рук. деп. в ВИНИТИ. – M., 1984. – № 528. – 18 c.
15. Мельник В. М. Растрово-електронна стереомікро- фрактографія: монографія / В. М. Мельник, А. В. Шостак. – Луцьк: Вежа, 2009. – 469 с.
16. Финковский В. Я. К теории фото- грамметрической обработки РЭМ-снимков / В. Я. Финковский, В. Н. Мельник, О. М. Иванчук // Геодезия и картография. – 1984. – № 2. – С. 29–33.
17. Шостак А. В. Методи і моделі мікрофотограм- метрії у прикладних наукових дослідженнях: автореф. дис. …д-ра техн. наук : 05.24.01 / Шостак Анна Володимирівна; Луцький нац. техн. університет. – К., 2012. – 28 с.
18. Bovik Al. Handbook of Image and Video Processing. – Academic Press, A Harcourt Science and Technology Company, 2000. – 891 p.
19. Boyde A. Photogrammetry and Scanning electron microscopy / A. Boyde, H. F. Ross // Photogrammetric Record. – 1975. – Vol. 8. – No. 46. – P. 408–457.
20. Burkhardt R. Untersuchungen zur kalibrirung eines Elektronen mikroskopes // Mitt. geod. Inst. Techn. Univ. Graz. – 1980. – No. 35.
21. Cromley R. G. Digital Cartography // Robert G. Cromley. – 1992 by Prentice-Hall. – 317 p.
22. Ghosh S. K. Photogrammetric calibration of a scanning electron microscope // Photogrammetria. – 1975. – Vol. 31. – No. 31. – P. 91–114.
23. Ghosh S. K. Scanning Electron Micrography and Photogrammetry / S. K. Ghosh, H. Nagaraja // Photogrammetric Engineering and Remote Sensing. – 1976. – Vol. 42. – No. 5. – P. 649–657.
24. Howell P. A practical method for the correction of distortions in SEM photogrammetry // Proc. Of the Annual Scanning Electron Microscope Symposium. Chicago, Illinois. – 1975. – P. 199–206.
25. Mandelbrot B. The fractal geometry of nature. – N. Y.: Freeman, 1983. – 469 p.
26. Otsu N. A threshold selection method from graylevel histograms // IEEE Trans. Sys., Man. – 1979. Cyber. 9. – P. 62–66.
27. Richardson L. The Problem of Contiguity: An Appendix of Statistic of Deadly Quarrels. General Systems Year Book. – 1961. – No. 6. – P. 139–187.
28. [Електронний ресурс]. – Режим доступу: http://matlab.exponenta.ru/imageprocess/book2/inde x.php И. М. Журавель “Краткий курс теории обработки изображений”.
29. [Електронний ресурс]. – Режим доступу: http://www.imagemagick.org/Usage/morphology/ ImageMagick v6 Examples – Morphology of Shapes.
1. Honsales R. Tsifrovaia obrabotka izobrazhenii, R. Honsales, R. Vuds, M., Tekhnosfera, 2005, 1072 p.
2. Honsales R. Tsifrovaia obrabotka izobrazhenii v srede MATLAB, R. Honsales, R. Vuds, S. Eddins, M., Tekhnosfera, 2006, 616 p.
3. Ivanchuk O. M. Struktura ta funktsii prohramnoho kompleksu "Dimicros" dlia opratsiuvannia REM- zobrazhen na tsyfrovii fotohrammetrychnii stantsii, O. M. Ivanchuk, I. V. Khrupin, Suchasni dosiahnennia heodezychnoi nauky ta vyrobnytstva, Lviv, 2012, Vyp. I (23), P. 193–197.
4. Ivanchuk O. M. Doslidzhennia tochnosti vyznachennia diisnykh velychyn zbilshennia (masshtabu) tsyfro- vykh REM-zobrazhen, otrymanykh na REM JCM-5000 (NeoScope) firmy JEOL, Heodeziia,kartohrafiia i aeroznimannia, Lviv, 2012, Iss. 76, P. 80–84.
5. Ivanchuk O. M. Doslidzhennia velychyn heomet- rychnykh spotvoren tsyfrovykh REM-zobrazhen, otrymanykh na REM DSM-960A (Carl Zeiss, Nimechchyna) ta tochnosti yikh vrakhuvannia, O. M. Ivanchuk, T. Barfels, Ya. Heeg, V. Hegier, Heodeziia, kartohrafiia i aeroznimannia, Lviv, 2013, Iss. 78, P. 120–126.
6. Ivanchuk O. Doslidzhennia heometrychnykh spotvo- ren tsyfrovykh REM-zobrazhen, otrymanykh na REM JCM-5000 (NeoScope), ta yikh aproksymatsiia, Iss. 1(18), Naukovi pratsi Donetskoho nats. tekhn. un-tu. Serie: hirnycho-heolohichna, Donetsk, 2013, P. 91–97.
7. Ivanchuk O. Doslidzhennia pokhybok zbilshennia (masshtabu) tsyfrovykh REM-zobrazhen, otrymanykh na REM-106I (Sumy, Ukraine) za dopomohoiu spe- tsialnykh test-obiektiv, O. Ivanchuk, M. Chekailo, Heodeziia, kartohrafiia i aeroznimannia, Lviv, 2014, Iss. 79, P. 82–88.
8. Ivanchuk O. Doslidzhennia heometrychnykh spotvo- ren tsyfrovykh REM-zobrazhen, otrymanykh na REM-106 I (Sumy, Ukraine), Suchasni dosiahnennia heodezychnoi nauky ta vyrobnytstva, Lviv, 2014, Vyp. II(28), P. 74–77.
9. Ivanchuk O. Osoblyvosti kalibruvannia heomet- rychnykh spotvoren tsyfrovykh REM-zobrazhen, otrymanykh na riznykh REM, Suchasni dosiahnennia heodezychnoi nauky ta vyrobnytstva, Lviv, 2015, Vyp. I(29), P. 168–173.
10. Ivanchuk O. Doslidzhennia heometrychnykh spotvo- ren tsyfrovykh REM-zobrazhen, otrymanykh na REM JSM-7100F (JEOL, Yaponiia), ta tochnist yikh aproksymatsii, Heodeziia, kartohrafiia i aerozni- mannia, Lviv, 2015, Iss. 81, P. 101–109.
11. Ivanchuk O. Rozrobka ta doslidzhennia tekhnolohii avtomatyzatsii kalibruvannia heometrychnykh spotvo- ren tsyfrovykh REM-zobrazhen, O. Ivanchuk, O. Tumska, Heodeziia, kartohrafiia i aeroznimannia, Lviv, 2017, Iss. 84.
12. Kostyshin M. T. Kvantovaia elektronika, M. T. Kostyshin, K. S. Mustafin, K., 1982, Iss. 23, P. 29–33.
13. Kalantarov E. I. Fotohrammetricheskaia kalibrovka elektronnykh mikroskopov, E. I. Kalantarov, M. Zh. Sahyndykova, Izv. vuzov. Heodeziia i aerofotosieemka, M., 1983, No 4, P. 76–80.
14. Melnik V. N. Kalibrovka heometricheskikh iskazhenii REM-snimkov, V. N. Melnik, V. N. Sokolov, O. M. Ivanchuk, O. V. Tumskaia, M. P. Shebatinov, Ruk. dep. v VINITI, M., 1984, No 528, 18 c.
15. Melnyk V. M. Rastrovo-elektronna stereomikro- fraktohrafiia: monograph, V. M. Melnyk, A. V. Shostak, Lutsk: Vezha, 2009, 469 p.
16. Finkovskii V. Ia. K teorii foto- hrammetricheskoi obrabotki REM-snimkov, V. Ia. Finkovskii, V. N. Melnik, O. M. Ivanchuk, Heodeziia i kartohrafiia, 1984, No 2, P. 29–33.
17. Shostak A. V. Metody i modeli mikrofotohram- metrii u prykladnykh naukovykh doslidzhenniakh: avtoref. dys. …d-ra tekhn. nauk : 05.24.01, Shostak Anna Volodymyrivna; Lutskyi nats. tekhn. universytet, K., 2012, 28 p.
18. Bovik Al. Handbook of Image and Video Processing, Academic Press, A Harcourt Science and Technology Company, 2000, 891 p.
19. Boyde A. Photogrammetry and Scanning electron microscopy, A. Boyde, H. F. Ross, Photogrammetric Record, 1975, Vol. 8, No. 46, P. 408–457.
20. Burkhardt R. Untersuchungen zur kalibrirung eines Elektronen mikroskopes, Mitt. geod. Inst. Techn. Univ. Graz, 1980, No. 35.
21. Cromley R. G. Digital Cartography, Robert G. Cromley, 1992 by Prentice-Hall, 317 p.
22. Ghosh S. K. Photogrammetric calibration of a scanning electron microscope, Photogrammetria, 1975, Vol. 31, No. 31, P. 91–114.
23. Ghosh S. K. Scanning Electron Micrography and Photogrammetry, S. K. Ghosh, H. Nagaraja, Photogrammetric Engineering and Remote Sensing, 1976, Vol. 42, No. 5, P. 649–657.
24. Howell P. A practical method for the correction of distortions in SEM photogrammetry, Proc. Of the Annual Scanning Electron Microscope Symposium. Chicago, Illinois, 1975, P. 199–206.
25. Mandelbrot B. The fractal geometry of nature, N. Y., Freeman, 1983, 469 p.
26. Otsu N. A threshold selection method from graylevel histograms, IEEE Trans. Sys., Man, 1979. Cyber. 9, P. 62–66.
27. Richardson L. The Problem of Contiguity: An Appendix of Statistic of Deadly Quarrels. General Systems Year Book, 1961, No. 6, P. 139–187.
28. [Electronic resource], Access mode: http://matlab.exponenta.ru/imageprocess/book2/inde x.php I. M. Zhuravel "Kratkii kurs teorii obrabotki izobrazhenii".
29. [Electronic resource], Access mode: http://www.imagemagick.org/Usage/morphology/ ImageMagick v6 Examples – Morphology of Shapes.
 
Rights © Західне геодезичне товариство, 2017
© Національний університет “Львівська політехніка”, 2017
 
Format 158-165
8
application/pdf
image/png
 
Coverage Львів