Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering
|
|
| Creator |
Zayats, M.S.
Boiko, V.G. Gentsar, P.O. Vuichyk, M.V. Lytvyn, O.S. Stronski, A.V. |
|
| Subject |
Characterization and properties
|
|
| Date |
2018-06-14T16:28:56Z
2018-06-14T16:28:56Z 2010 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Optical properties of AlN/n-Si(111) films obtained by method of HF reactive magnetron sputtering / M.S. Zayats, V.G. Boiko, P.O. Gentsar, M.V. Vuichyk, O.S. Lytvyn, A.V. Stronski // Functional Materials. — 2010. — Т. 17, № 2. — С. 209-212. — Бібліогр.: 11 назв. — англ.
1027-5495 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/135183 |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
Functional Materials
|
|
| Publisher |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
|
|