Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства
|
|
| Creator |
Береснев, В.М.
Соболь, О.В. Погребняк, А.Д. Литовченко, С.В. Иванов, О.Н. Немченко, У.С. Сребнюк, П.А. Мейлехов, А.А. Бармин, А.Е. Столбовой, В.А. Новиков, В.Ю. Мазилин, Б.А. Крицына, Е.В. Серенко, Т.А. Маликов, Л.В. |
|
| Subject |
Физика радиационных и ионно-плазменных технологий
|
|
| Description |
Используя высокотехнологичное вакуумно-дуговое испарение в атмосфере азота с ионной бомбардировкой, получили однослойные и многослойные покрытия на основе TiAlSiYN с высокими механическими характеристиками: твердостью, достигающей 49,5 ГПа; стойкостью к износу с величиной критической точки Lₑ₅, достигающей 184,92 Н. Выявлены особенности радиационно-стимулированного воздействия при подаче потенциала смещения Uₑₘ: формирование в нитридах покрытий на основе металлической ГЦК-решетки преимущественной ориентации кристаллитов с осью текстуры [111], а также увеличение при этом твердости. При увеличении Uₑₘ от 50 до 200 В твердость как однослойных, так и многослойных покрытий повышается на 40…50%. Формирование при осаждении кремнийсодержащих слоев TiAlSiYN способствует достижению повышенной твердости, которая в случае однослойного покрытия, сформированного при Uₑₘ = -200 В, составляет 49,5 ГПа, что соответствует сверхтвердому состоянию. Обсуждены механизмы формирования структуры, определяющие полученные механические характеристики однослойных и многослойных покрытий на основе нитрида TiAlSiYN.
З використанням високотехнологічного вакуумно-дугового випаровування в атмосфері азоту з іонним бомбардуванням були отримані одношарові і багатошарові покриття на основі TiAlSiYN з високими механічними характеристиками: твердістю, що досягає 49,5 ГПа; стійкістю до зношування з величиною критичної точки Lₑ₅, що досягає 184,92 Н. Виявлено особливості радіаційно-стимульованого впливу при подачі потенціалу зміщення U₃ₘ: формування в нітридах покриттів на основі металевих ГЦК-граток переважної орієнтації кристалітів з віссю текстури [111], а також збільшення при цьому твердості. При збільшенні U₃ₘ від 50 до 200 В твердість як одношарових, так і багатошарових покриттів підвищується на 40…50%. Формування при осадженні шарів TiAlSiYN, що містять кремній, сприяє досягненню підвищеної твердості, яка в одношарового покриття, отриманого при U₃ₘ = -200 В, становить 49,5 ГПа, що відповідає надтвердому стану. Обговорено механізми формування структури, що визначає отримані механічні характеристики одношарових і багатошарових покриттів на основі нітриду TiAlSiYN. Using high-technological vacuum-arc evaporation in the atmosphere of nitrogen with ion bombardment, single- and multilayer coatings based on TiAlSiYN with high mechanical characteristics were obtained: hardness of the coatings reached 49.5 GPA, resistance to wear, with the value of the critical point Lₑ₅ reaching 184.92 N. The peculiarities of radiation-induced effect at applying bias potential Uₕ were found: formation of nitride coatings based on fcc metallic lattice with the preferred orientation of crystallites with the texture axis [111], as well as simultaneous growth of hardness. Hardness of both single- and multilayer coatings increases by 40…50% at the increase of Uₕ from 50 to 200 V. Formation of silicon-containing layers of TiAlSiYN during the deposition contributes to reaching increased hardness, which, in the case of single-layer coating obtained at Uₕ = -200 V is 49.5 GPA, which corresponds to superhard state. The mechanisms of structure formation, defining the resulting mechanical characteristics of single- and multi-layer coatings based on TiAlSiYN nitride have been discussed. |
|
| Date |
2018-06-16T05:58:16Z
2018-06-16T05:58:16Z 2017 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Однослойные и многослойные вакуумно-дуговые покрытия на основе нитрида TiAlSiYN: состав, структура, свойства / В.М. Береснев, О.В. Соболь, А.Д. Погребняк, С.В. Литовченко, О.Н. Иванов, У.С. Немченко, П.А. Сребнюк, А.А. Мейлехов, А.Е. Бармин, В.А. Столбовой, В.Ю. Новиков, Б.А. Мазилин, Е.В. Крицына, Т.А. Серенко, Л.В. Маликов // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 4. — С. 88-96. — Бібліогр.: 30 назв. — рос.
1562-6016 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136140 539.12.04.621.384.653 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|