The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage
|
|
| Creator |
Martynenko, P.A.
|
|
| Subject |
Теория и техника ускорения частиц
|
|
| Description |
The possibility of calculating the cathode shape of an ion sources for a beam formation system is investigated with the computer code. The acceleration of nitrogen ions with energies from 10 to 50 keV and ion currents of 10…20 mA was investigated [1]. The charged particle beams dynamic in a two-potential electron-optical system is showed. The calculation results are compared with the experimental data. The simulation can be used in the design of injection systems and selection of operating parameters of power sources of technological installations for surface modification.
Ця робота присвячена дослідженню можливості розрахунку форми емісійної поверхні для системи прискорення іонів реактивних газів. Наведено чисельний розрахунок самоузгодженої динаміки заряджених частинок у двопотенційній електронно-оптичній системі. Досліджуються властивості системи прискорення іонів до енергії 50 кеВ зі струмом 10…20 мА. Проведено порівняння результатів розрахунку з експериментальними даними. Розрахунки можуть використовуватися при конструюванні систем прискорення іонів та вибору робочих параметрів джерел живлення технологічних установок для модифікації поверхні. Данная работа посвящена исследованию возможности расчета формы поверхности эмиссии системы ускорения ионов реактивных газов. Решается самосогласованная задача динамики заряженных частиц в двух-потенциальной электронно-оптической системе. Исследуется система ускорения ионов азота с энергией от 10 до 50 кэВ с током 10…20 мА. Проведено сравнение результатов расчета с экспериментальными данными. Расчеты могут использоваться при конструировании систем инжекции ионов и выборе рабочих параметров источников питания технологических установок для модификации поверхности. |
|
| Date |
2018-06-16T06:47:10Z
2018-06-16T06:47:10Z 2017 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
The emission surface calculation for reactive gas ion source with decreased neutral gas inleakage / P.A. Martynenko // Вопросы атомной науки и техники. — 2017. — № 6. — С. 16-17. — Бібліогр.: 5 назв. — англ.
1562-6016 PACS: 29.25.Ni http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/136177 |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|