Periodic structure formation in GaAs near-surface layer by laser beam with diffraction modulated intensity
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Periodic structure formation in GaAs near-surface layer by laser beam with diffraction modulated intensity
|
|
| Creator |
Moskal, D.
Nadtochiy, V. Golodenko, N. |
|
| Description |
The method of grids was used to calculate thermoelastic stresses on GaAs surface caused by a non-destructive laser exposure with diffraction spatial intensity modulation from a screen with a rectangular cut-out. The structure of irradiated near-surface layers of samples was studied using optical method. Periodic insular structures formed due to diffusive redistribution of defects were revealed using the level-by-level chemical etching. Методом сеток проводился расчет термоупругих напряжений на поверхности GaAs, возникающих при неразрушающем лазерном облучении с дифракционной пространственной модуляцией интенсивности от непрозрачного экрана с прямоугольным вырезом. Оптическим методом исследовалась структура облученных приповерхностных слоев кристаллов. Послойным химическим травлением выявлены периодические островковые структуры, образованные в результате диффузионного перераспределения дефектов. Методом сiток виконано розрахунок термопружних напружень на поверхнi GaAs, що виникають при неруйнiвному лазерному опромiненнi з дифракцiйною просторовою модуляцiєю iнтенсивностi вiд непрозорого екрана з прямокутним вирiзом. Оптичним методом дослiджувалася структура опромiнених приповерхневих шарiв кристалiв. Пошаровим хiмiчним травленням виявленi перiодичнi острiвцевi структури, що утворенi внаслiдок дифузiйного перерозподiлу дефектiв. |
|
| Date |
2018-06-21T13:54:10Z
2018-06-21T13:54:10Z 2006 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Periodic structure formation in GaAs near-surface layer by laser beam with diffraction modulated intensity / D. Moskal, V. Nadtochiy, N. Golodenko // Functional Materials. — 2006. — Т. 13, № 1. — С. 100-104. — Бібліогр.: 22 назв. — англ.
1027-5495 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/139940 |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
Functional Materials
|
|
| Publisher |
НТК «Інститут монокристалів» НАН України
|
|