Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем
|
|
| Creator |
Новосядлый, С.П.
|
|
| Subject |
Депонированные рукописи
|
|
| Date |
2018-07-15T08:16:38Z
2018-07-15T08:16:38Z 1998 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Технология локальной изоляции активных элементов больших интегральных схем / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 22. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140765 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|