Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС
|
|
| Creator |
Новосядлый, С.П.
|
|
| Subject |
Депонированные рукописи
|
|
| Date |
2018-07-15T08:18:03Z
2018-07-15T08:18:03Z 1998 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Геттерирование примесей и дефектов в системной технологии микроэлектроники БИС / С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 2. — С. 39. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140766 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|