Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ
|
|
| Subject |
Научно-промышленные центры СНГ
|
|
| Description |
Предназначена для автоматического обнаружения дефектов топологии фотошаблонов, используемых для производства интегральных микросхем при проекционной литографии в масштабе 10:1 и 5:1.
|
|
| Date |
2018-07-15T11:15:47Z
2018-07-15T11:15:47Z 1998 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Установка автоматического контроля топологии фотошаблонов ЭМ-602ЭАМ // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 15. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140770 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|