Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В
|
|
| Subject |
Научно-промышленные центры СНГ
|
|
| Description |
Предназначен для экспонирования металлизированных фотошаблонов (ФШ). Осуществляет формирование слоя ФШ за время, не зависящее от сложности его описания. Оснащен системой совмещения, позволяющей производить экспонирование в режиме двойного маскирования. Работает по принципу растровой развертки луча лазера с помощью электрооптического устройства.
|
|
| Date |
2018-07-15T11:18:56Z
2018-07-15T11:18:56Z 1998 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Многоканальный лазерный генератор изображений ЭМ-5089В // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 61. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140773 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|