Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала
|
|
| Creator |
Буджак, Я.С.
Новосядлый, С.П. |
|
| Subject |
Депонированные рукописи
|
|
| Description |
Разработана технология формирования тонкопленочных конденсаторов на основе базовых слоев β-тантала ионным распылением танталовой мишени при одновременном легировании элементами Iб, IIб, III, IV, Vа, VIа, VIIа, VIIIа Периодической системы. Такие тонкопленочные элементы конденсаторов могут быть использованы при формировании структур активных RC-фильтров и динамических оперативных запоминающих устройств произвольной выборки.
|
|
| Date |
2018-07-15T11:48:25Z
2018-07-15T11:48:25Z 1998 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Формирование тонкопленочного диэлектрика на основе β-тантала / Я.С. Буджак, С.П. Новосядлый // Технология и конструирование в электронной аппаратуре. — 1998. — № 3-4. — С. 62. — рос.
2225-5818 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/140787 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Технология и конструирование в электронной аппаратуре
|
|
| Publisher |
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є. Лашкарьова НАН України
|
|