Компьютерное моделирование эмиссии атомов металла при ионной бомбардировке мишени
Electronic Volodymyr Dahl East Ukrainian National University Institutional Repository
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Компьютерное моделирование эмиссии атомов металла при ионной бомбардировке мишени
COMPUTER SIMULATION OF THE EMISSION OF METAL ATOMS AT THE IONIC BOMBARDMENT OF THE TARGET |
|
| Creator |
Гончаров, В.В.
Hоnchаrоv, V.V. |
|
| Subject |
ионная имплантация
ион эмиссия компьютерная модель коэффициент распыления іонна імплантація іон емісія комп'ютерна модель коефіцієнт розпилення ionic implantation ion emission the computer model the sputtering coefficient УДК 519.876.5 УДК 621.384.6 УДК 004.942 |
|
| Description |
В статье исследован вопрос распыления материала мишени при его ионной бомбардировке. Рассмотрены существующие математические модели для изучения взаимодействия ионов с веществом при ионной имплантации. Выбрана оптимальная модель определения коэффициента распыления и на её основе создана компьютерная программа "КЕА", позволяющая производить расчет эмиссии атомов мишени в зависимости от внешних факторов. Проведен сравнительный анализ результатов расчета по полученной программе с данными из литературы. У статті досліджено питання розпилення матеріалу мішені при його іонному бомбардуванні. Розглянуто існуючі математичні моделі для вивчення взаємодії іонів з речовиною при іонній імплантації. Обрана оптимальна модель визначення коефіцієнта розпилення і на її основі створена комп'ютерна програма "КЕА", що дозволяє проводити розрахунок емісії атомів мішені в залежності від зовнішніх факторів. Проведено порівняльний аналіз результатів розрахунку за отриманою програмою з даними з літератури. The question of target material sputtering under ionic bombardment is studied in the article. The existing mathematical models for study of the interaction of ions with matter by ionic implantation are examined. The optimal model for determining the sputtering coefficient is selected. Based on it a computer program "KEA", which allows to calculate the emission of target atoms depending on external factors is created. A comparative analysis of the calculation results obtained by the program with data from the literature is given. |
|
| Date |
2016-02-21T18:50:48Z
2016-02-21T18:50:48Z 2014 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Гончаров В.В. Компьютерное моделирование эмиссии атомов металла при ионной бомбардировке мишени / В.В. Гончаров // Наукові вісті Далівського університету. - Сєвєродонецьк: Вид-во СНУ ім. В. Даля
http://dspace.snu.edu.ua:8080/jspui/handle/123456789/261 |
|
| Language |
ru
|
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Publisher |
СНУ ім. В.Даля
|
|