Мікроелектронні частотні перетворювачі вологості
Репозитарій Вінницького Національного Технічного Університету
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Мікроелектронні частотні перетворювачі вологості
|
|
| Creator |
Осадчук, В. С.
Осадчук, О. В. Крилик, Л. В. Селецька, О. О. |
|
| Subject |
перетворювач вологості
ємнісний елемент чутливість humidity transducer capacitive element sensitive |
|
| Description |
Розроблено мікроелектронні частотні перетворювачі вологості з ємнісними елементами, виготовленими на основі вологочутливих пористих шарів. Теоретично та експериментально доведено, що схемотехнічні рішення та фізико-хімічні властивості вологочутливого шару ємнісного елемента суттєво впливають на чутливість перетворювача вологості та діапазон її вимірювання. Встановлено, що найчутливішим є перетворювач з ємнісним елементом, виготовленим на основі аморфного кремнію.
Microelectronic frequency humidity transducers with capacitive element made on the basis of moisture-sensitive porous lay-ers, have been developed. It has been theoretically and experimentally proved the circuit designs and physical and chemical prop-erties of the moisture sensitive layer of the capacitive element significantly affect the sensitivity of the humidity transducer and the range of its measurement. It was found that the most sensitive is a transducer with a capacitive element made on the basis of amorphous silicon. |
|
| Date |
2018-07-11T09:07:46Z
2018-07-11T09:07:46Z 2018 |
|
| Type |
Thesis
|
|
| Identifier |
Мікроелектронні частотні перетворювачі вологості [Електронний ресурс] / В. С. Осадчук, О. В. Осадчук, Л. В. Крилик, О. О. Селецька // Матеріали XLVII науково-технічної конференції підрозділів ВНТУ, Вінниця, 14-23 березня 2018 р. – Електрон. текст. дані. – 2018. – Режим доступу: https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/all-frtzp/all-frtzp-2018/paper/view/4044.
http://ir.lib.vntu.edu.ua//handle/123456789/22429 621.382 |
|
| Language |
uk_UA
|
|
| Relation |
Матеріали XLVII науково-технічної конференції підрозділів ВНТУ, Вінниця, 14-23 березня 2018 р.
https://conferences.vntu.edu.ua/index.php/all-frtzp/all-frtzp-2018/paper/view/4044 |
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Publisher |
ВНТУ
|
|