Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок методами скануючої зондової мікроскопії та спектроскопії
Цифровой репозитарии Национального технического университета "Харьковский политехнический институт" (eNTUKhPIIR)
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок методами скануючої зондової мікроскопії та спектроскопії
|
|
Creator |
Хрипунов, Геннадій Семенович
Зайцев, Роман Валентинович Хрипунова, Аліна Леонідівна Кіріченко, Михайло Валерійович Момотенко, Олександра Віталіївна |
|
Subject |
мікроскопія зондова
сканер обробка зображень мікроскопія тунельна мікроскопія атомно-силова мікроскопія електросилова мікроскопія магнітно-силова спектроскопія рентгенівська спектроскопія фотоелектронна спектроскопія оже-електронна спектроскопія розсіювання повільних іонів дифракція повільних електронів |
|
Date |
2019-01-11T11:30:03Z
2019-01-11T11:30:03Z 2014 |
|
Type |
Book
|
|
Identifier |
Фізичне матеріалознавство для мікро- та наноелектроніки: дослідження структури тонких плівок методами скануючої зондової мікроскопії та спектроскопії : навч. посібник : [у 2 т.]. Т. 2 / Г. С. Хрипунов [та ін.] ; Нац. техн. ун-т "Харків. політехн. ін-т". – Харків : НТУ "ХПІ", 2014. – 198 с.
http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/39131 |
|
Language |
uk
|
|
Format |
application/pdf
|
|
Publisher |
Національний технічний університет "Харківський політехнічний інститут"
|
|