АВТОМАТИЗОВАНЕ ПРОЕКТУВАННЯ ЧИСТИХ ПРИМІЩЕНЬ ДЛЯ МІКРОЕЛЕКТРОННОЇ ПРОМИСЛОВОСТІ
Наукові журнали НАУ
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
АВТОМАТИЗОВАНЕ ПРОЕКТУВАННЯ ЧИСТИХ ПРИМІЩЕНЬ ДЛЯ МІКРОЕЛЕКТРОННОЇ ПРОМИСЛОВОСТІ
Automate the design of clean rooms for industries mikroelektronnoy Автоматизированое проектирование чистых помещений для микроэлектронной промышленности |
|
| Creator |
Синеглазов, В.М.
Федосенко, В.Н. |
|
| Subject |
—
— чистое помещение; автоматизированное проектирование; системы мониторинга и сигнализации |
|
| Description |
Запропоновано структуру системи автоматизованого проектування чистих приміщень для мікроелектронної промисловості, визначено перелік систем контролю, що забезпечують виконання нормативних вимог, що ставлять до чистого приміщення.
The structure of computer-aided design of cleanrooms for the microelectronics industry, a list of monitoring systems to ensure implementation of regulatory requirements for clean room. Предложена структура системы автоматизированного проектирования чистых помещений для микроэлектронной промышленности, определен перечень систем контроля, обеспечивающих выполнение нормативных требований, предъявляемых к чистому помещению. |
|
| Publisher |
Національний авіаційний університет
|
|
| Contributor |
—
— — |
|
| Date |
2012-07-06
|
|
| Type |
—
— — |
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Identifier |
http://jrnl.nau.edu.ua/index.php/ESU/article/view/948
|
|
| Source |
Електроніка та системи управління; № 31 (2012)
Електроніка та системи управління; № 31 (2012) |
|
| Language |
ru
|
|