Определение массового баланса газов-реагентов в процессе нанесения ионно-плазменных покрытий
Цифровой репозитарии Национального технического университета "Харьковский политехнический институт" (eNTUKhPIIR)
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Определение массового баланса газов-реагентов в процессе нанесения ионно-плазменных покрытий
|
|
Creator |
Тонконогий, В. М.
Хомутова, Е. В. Носов, П. С. |
|
Subject |
метод конденсации в вакууме
метод КИБ вакуумная камера методы нанесения |
|
Description |
Determination of mass balance gases of reagents in the causing ions-plasma coverage.
|
|
Date |
2019-01-31T09:20:05Z
2019-01-31T09:20:05Z 2009 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
Тонконогий В. М. Определение массового баланса газов-реагентов в процессе нанесения ионно-плазменных покрытий / В. М. Тонконогий, Е. В. Хомутова, П. С. Носов // Високі технології в машинобудуванні = High technologies of machine-building : зб. наук. пр. – Харків : НТУ "ХПІ", 2009. – Вип. 2 (19). – С. 184-190.
http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/39453 |
|
Language |
ru
|
|
Format |
application/pdf
|
|
Publisher |
НТУ "ХПІ"
|
|