Формирование низкоразмерных систем металлов, кремния и углерода в условиях квазиравновесной стационарной конденсации
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Формирование низкоразмерных систем металлов, кремния и углерода в условиях квазиравновесной стационарной конденсации
|
|
| Creator |
Космінська, Юлія Олександрівна
Косминская, Юлия Александровна Kosminska, Yuliia Oleksandrivna Перекрестов, Вячеслав Іванович Перекрестов, Вячеслав Иванович Perekrestov, Viacheslav Ivanovych Мокренко, Андрій Анатолійович Мокренко, Андрей Анатольевич Mokrenko, Andrii Anatoliiovych Корнющенко, Ганна Сергіївна Корнющенко, Анна Сергеевна Korniushchenko, Hanna Serhiivna Дешин, Б.В. Дешин, В.Б. |
|
| Subject |
магнетронное распыление
накопительная система плазма-конденсат квазиравновесные условия селективность низкоразмерные системы |
|
| Description |
Объект исследования – процессы структурообразования низкоразмерных структур никеля, хрома, кремния и углерода в процессе квазиравновесной стационарной конденсации атомов. Цель работы: исследование и разработка нового технологического направления формирования низкоразмерных систем углерода, слаболетучих металлов, кремния, основанного на явлениях самоорганизации в условиях квазиравновесных стационарных процессов конденсации на границе раздела плазма-конденсат. В работе получены низкоразмерные пористые слои никеля и хрома в квазиравновесных стационарных условиях при помощи планарной магнетронной распылительной системы на постоянном токе, а также при помощи разработанной нами накопительной системы плазма-конденсат. Показано, что процесс их формирования сопровождается отсутствием классической ростовой коалесценции, переориентацией слабых осаждаемых потоков в области первичных скоплений кластеров, а также гомогенной нуклеацией в местах их сращивания. Реализованы условия квазиравновесной конденсации в накопительной ионно-плазменной системе с использованием обратных диффузионных потоков распыленного вещества. Данная технология позволила обнаружить эффекты самоорганизации одинаковых по размерам островков кремния, а также проявление пространственно распределенной структурной и аллотропной селективности при конденсации углерода. В работе обсуждается роль активных центров преимущественного закрепления адатомов, электрического поля над ростовой поверхностью, которое зависит от ее кривизны. |
|
| Publisher |
Вид-во СумДУ
|
|
| Date |
2012-07-16T06:28:05Z
2012-07-16T06:28:05Z 2011 |
|
| Type |
Technical Report
|
|
| Identifier |
Формирование низкоразмерных систем металлов, кремния и углерода в условиях квазиравновесной стационарной конденсации : отчет о НИР (заключительный) / Рук. Ю.А. Косминская. - Сумы : Сумской государственный университет, 2011. - 49 с.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27251 |
|
| Language |
ru
|
|