Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала
|
|
| Creator |
Горбанюк, Т.І.
Солнцев, В.С. |
|
| Subject |
Хімія поверхні кремнезему
|
|
| Description |
Досліджено структуру поруватого кремнію методами скануючої електронної мікроскопії (СЕМ) та атомної силової мікроскопії (АСМ) в залежності від режимів електрохімічного процесу розчинення монокристалічного кремнію р-типу. Встановлено, що при анодному розчиненні можливе утворення двохшарової нанопоруватої полімерної плівки кремнію, мікропоруватого шару з включеннями аморфного кремнію або полірованої поверхні кремнію.
The structure of porous Si has been studied by scanning electron microscopy (SEM) and atomic force microscopy (AFM) as dependent on the conditions of electrochemical dissolution of single-crystal p–type silicon. The formation has been found of two-layer nanoporous silicon polymer film, of microporous layer with incorporated amorphous silicon particles, or of polished silicon surface. |
|
| Date |
2019-02-09T10:05:48Z
2019-02-09T10:05:48Z 2004 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Структура та властивості поруватого кремнію, що утворюється при електрохімічному розчиненні монокристала / Т.І. Горбанюк, В.С. Солнцев // Поверхность. — 2004. — Вип. 10. — С. 65-68. — Бібліогр.: 4 назв. — укр.
2617-5975 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/146376 535.36.37+537.2+539.219 |
|
| Language |
uk
|
|
| Relation |
Поверхность
|
|
| Publisher |
Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України
|
|