Виртуальный датчик для мониторинга температуры фонового нагревателя в тепловом узле установки для выращивания монокристаллов арсенида галлия
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Виртуальный датчик для мониторинга температуры фонового нагревателя в тепловом узле установки для выращивания монокристаллов арсенида галлия
|
|
| Creator |
Оксанич, А. П.
Шевченко, И. В. Краснопольская, Ю. А. |
|
| Subject |
выращивание монокристаллов полупроводников
мониторинг технологического процесса |
|
| Description |
Разрабатывается математическая модель – виртуальный датчик температуры фонового нагревателя, используемого для формирования оптимальных тепловых условий в зоне, примыкающей к фронту кристаллизации при выращивании слитков полуизолирующего GaAs по LEC-технологии. Выполняется проверка адекватности модели в ходе экспериментов на различных стадиях процесса выращивания. Модель используется как составная часть информационной технологии мониторинга качества процесса выращивания монокристаллов полу-проводников.
|
|
| Date |
2016-05-24T19:22:29Z
2016-05-24T19:22:29Z 2011 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Оксанич, А. П. Виртуальный датчик для мониторинга температуры фонового нагревателя в тепловом узле установки для выращивания монокристаллов арсенида галлия / А. П. Оксанич, И. В. Шевченко, Ю. А. Краснопольская // АСУ и приборы автоматики : всеукр. межвед. науч.-техн. сб. – Х. : Изд-во ХНУРЭ, 2011. – Вып. 156. – С. 16–26.
http://openarchive.nure.ua/handle/document/130 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
ХНУРЭ
|
|