Accelerometers production technological process decomposition parameters model
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Accelerometers production technological process decomposition parameters model
|
|
| Creator |
Nevlydov, I.
Yevsieiev, V. Miliutina, S. Bortnikova, V. |
|
| Subject |
decomposition
technological process MEMS Accelerometer |
|
| Description |
In this paper the accelerometer production technological process parameters decomposition model is described.
|
|
| Date |
2017-01-15T20:17:54Z
2017-01-15T20:17:54Z 2016 |
|
| Type |
Thesis
|
|
| Identifier |
978-1-5090-1414-9
978-617-607-913-2 10.1109/MEMSTECH.2016.7507506 http://openarchive.nure.ua/handle/document/3508 |
|
| Language |
en_US
|
|
| Publisher |
2016 XII International Conference on Perspective Technologies and Methods in MEMS Design (MEMSTECH)
|
|