Модель структуры информационно-аналитической системы управления качеством процесса выращивания монокристаллов полупроводников
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Модель структуры информационно-аналитической системы управления качеством процесса выращивания монокристаллов полупроводников
|
|
| Creator |
Левыкин, В. М.
Шевченко И. В. |
|
| Subject |
информационно-аналитическая система
мониторинг процесс выращивания |
|
| Description |
Запропоновано модель інформаційно-аналітичної системи управління якістю процесу вирощування монокристалів, яка містить підсистему моніторингу температурних полів, багатокомпонентну математичну модель процесу вирощування, підсистему підтримки прийняття оперативних рішень з корекції режиму вирощування, підсистему оптимізації параметрів теплового екрана ростової установки. In the paper, the authors have presented a new developed model of information and analytical quality control system for single-crystals growing. The model includes a temperature patterns monitoring sub-system, a multicomponent mathematical model of the growing process, a support sub-system for immediate decision making to correct the growth regime, and a sub-system for the parameters optimization of a heat shield of the growing facility. Introduction of the system offered allows for the growing process enhancement in terms of the outgoing product quality. |
|
| Date |
2017-06-12T14:01:34Z
2017-06-12T14:01:34Z 2014 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Левыкин В. М., Шевченко И. В. Модель структуры информационно-аналитической системы управления качеством процесса выращивания монокристаллов полупроводников // Вісник Академії митної служби України. – 2014. – № 2. – С. 63–71.
http://openarchive.nure.ua/handle/document/3853 |
|
| Language |
ru
|
|