Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Отработка режимов осаждения в зависимости от потенциала и давления смеси газов (азот и аргон) на подложку
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Отработка режимов осаждения в зависимости от потенциала и давления смеси газов (азот и аргон) на подложку
|
|
| Creator |
Погребняк, Олександр Дмитрович
Погребняк, Александр Дмитриевич Pohrebniak, Oleksandr Dmytrovych Ілляшенко, Максим Вікторович Ильяшенко, Максим Викторович Illiashenko, Maksym Viktorovych Каверін, Михайло Валерійович Каверин, Михаил Валерьевич Kaverin, Mykhailo Valeriiovych Каверіна, Аліса Шер Ахмад Каверина, Алиса Шер Ахмад Kaverina, Alisa Sher Akhmad Братушка, С.Н. Кирик, Г.В. Шипиленко, А.П. Махмуд, А.М. Карим, М.А.. Байдак, В.С. Демьяненко, А.А. Постольный, Богдан Олександрович Рогоз, В.Н. Пшик, А.В. Якущенко, И.В. |
|
| Subject |
вакуумно-дуговое осаждение
микротвердость нанокомпозитные покрытия электронная структура прочность декогезия |
|
| Description |
Объектом исследования является влияние параметров осаждения на ми-кротвердость покрытий, термическую стабильность сверхтвердых наноком-позитов и гетероструктур, также разработка новых свойств покрытий и мно-гокомпонентных твердых наноструктур (нанокомпозитных покрытий) на ос-нове Ti-Hf -Si-N, Zr-Ti-Si-N. Предмет исследования – определение наиболее оптимальных параметров осаждения для достижения максимальной микротвердости нанокомпозитного покрытия. Цель работы – изучить условия проведенения эксперимента по увеличе-нию прочностных характеристик в гетероструктурных и сверхтвердых нано-композитных покрытиях. Провести отработку режимов нанесения покрытий на основе Ti-Zr-Si-N методами вакуумно-дугового осаждения. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27280 |
|
| Publisher |
Вид-во СумДУ
|
|
| Date |
2012-07-18T07:31:45Z
2012-07-18T07:31:45Z 2011 |
|
| Type |
Technical Report
|
|
| Identifier |
Структура и свойства нанокомпозитных комбинированных покрытий с высокой твердостью, которые используются в электронной технике. Отработка режимов осаждения в зависимости от потенциала и давления смеси газов (азот и аргон) на подложку : отчет о НИР (промежуточный) / Рук. А.Д. Погребняк. - Сумы : Сумской государственный университет, 2011. - 29 с.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27280 |
|
| Language |
ru
|
|