Высоколокальный свч нагрев полупроводников и диэлектриков
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Высоколокальный свч нагрев полупроводников и диэлектриков
|
|
| Creator |
Гордиенко, Ю. Е.
Полетаев, Д. А. Проказа, А. М. Слипченко, Н. И. |
|
| Subject |
СВЧ модификация
тепловыделение конусный коаксиальный СВЧ зонд |
|
| Description |
Предложены принципы осуществления высоколокального СВЧ нагрева полупроводниковых материалов с целью их сканирующего перелегирования, оксидирования, отжига и других термических модификаций, которые используются в микро- и нанотехнологиях. Показана возможность создания СВЧ ближнеполевого аппликатора на основе конусного коаксиального зонда. Проведены численные исследования пространственно-временного распределения температуры в области воздействия такого аппликатора в зависимости от электрофизических параметров полупроводникового материала и конструктива зонда. |
|
| Date |
2018-04-11T14:09:40Z
2018-04-11T14:09:40Z 2013 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Высоколокальный свч нагрев полупроводников и диэлектриков / Ю. Е. Гордиенко, Д. А. Полетаев, А. М. Проказа, Н. И. Слипченко // Прикладная радиоэлектроника : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 2013. – Т. 12, № 3 – С. 452–458.
http://openarchive.nure.ua/handle/document/4739 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
ХНУРЭ
|
|