Перспективы применения микроэлектромеханических систем в космической технике
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів ІнформаціяПоле | Співвідношення | |
Title |
Перспективы применения микроэлектромеханических систем в космической технике
|
|
Creator |
Токарева, Е. В.
Овчаренко, В. Е. Кононенко, Н. В. |
|
Subject |
микросистемная техника, микроэлектромеханические системы, сенсоры, актюаторы, нанотехнологии, миниатюризация, перовскиты
|
|
Description |
В статье рассмотрены перспективные направления развития микросистемной техники для различных сфер применения. У статті розглянуті перспективні напрями розвитку мікросистемної техніки для різних сфер застосування. The article describes the promising areas of microsystems technology for various applications |
|
Date |
2018-04-18T14:00:17Z
2018-04-18T14:00:17Z 2015 |
|
Type |
Article
|
|
Identifier |
http://openarchive.nure.ua/handle/document/4803
|
|
Language |
ru
|
|