Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок
|
|
| Creator |
Светличный, В. А.
Хорошайло, Ю. Е. Мулявка, О. В. Сова, А. В. |
|
| Subject |
тонкая электропроводящая пленка
толщина и форма пленки пористость структур поверхностная плотность островков |
|
| Description |
В результате изучения свойств и структуры тонких пленок, показано что свойства и структура тонких пленок значительно отличается от тех же параметров объемного материала. Физические процессы происходящие во время образования пленок обуславливают индивидуальную специфику свойств и структуры. Поэтому, одним из основных показателей качества металлических тонких пленок является отсутствие дефектов. В работе рассмотрены вопросы теории появления дефектов тонких электропроводящих пленок. Выполнен анализ влияния главных электрических параметров пленок на наличие дефектов структуры пленок. Показаны иные возможные виды дефектов пленок и определены способы их выявления
|
|
| Date |
2018-05-16T08:58:53Z
2018-05-16T08:58:53Z 2017 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Светличный В. А. Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок / В. А. Светличный, Ю. Е. Хорошайло, О. В. Мулявка, А. В. Сова // Вісник національного технічного університету «ХПІ», серія «Електроенергетика та перетворювальна техніка». – 2017. – № 4 (1226). – С. 72–77.
http://openarchive.nure.ua/handle/document/5203 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
ХПІ
|
|