Класифікація технологій мікроелектромеханічних систем
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Класифікація технологій мікроелектромеханічних систем
|
|
| Creator |
Невлюдов, І. Ш.
Свищ, В. М. Палагін, В. А. |
|
| Subject |
мікроелектромеханічны системи
нанотехнології |
|
| Description |
Робота присвячена класифікації технологій мікроелектромеханічних систем
|
|
| Date |
2018-05-16T13:13:04Z
2018-05-16T13:13:04Z 2005 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Невлюдов І. Ш. Класифікація технологій мікроелектромеханічних систем / І. Ш. Невлюдов, В. М. Свищ, В. А. Палагін // сб. науч. тр. 2-го Международного радиоэлектронного форума «Прикладная радиоэлектроника. Состояние и перспективы развития», МРФ-2005, 19–23 сентября 2005 г. – Х. : ХНУРЭ, 2005. – Т. 1 – С. 111–114.
http://openarchive.nure.ua/handle/document/5257 |
|
| Language |
uk
|
|
| Publisher |
ХНУРЭ
|
|