Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології
|
|
| Creator |
Невлюдов, І. Ш.
Палагін, В. А. Семенець, В. В. |
|
| Subject |
нанотехнології
сенсори фотонні кристали нанороботи кремнієві структури |
|
| Description |
Викладено принципи створення МЕМС та відомості про технології їх виробництва. Розглянуто масштабні та квантово-механічні ефекти, електромеханічні аналогії та матмоделі для проектування чутливих елементів датчиків.
|
|
| Date |
2018-05-17T12:10:08Z
2018-05-17T12:10:08Z 2011 |
|
| Type |
Book
|
|
| Identifier |
Невлюдов І. Ш. Введення в мікросистемну техніку та нанотехнології / І. Ш. Невлюдов, В. А. Палагін, В. В. Семенець. – Харків: Компанія "СМІТ", 2011. – 416 с.
978-966-2028-73-7 http://openarchive.nure.ua/handle/document/5273 |
|
| Language |
uk
|
|
| Publisher |
ХНУРЕ
|
|