Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок
|
|
| Creator |
Хорошайло, Ю. Е.
Светличный, В. А. Мулявка, О. В. Сова, А. В. |
|
| Subject |
тонкая электропроводящая пленка
толщина и форма пленки пористость структур поверхностная плотность островков |
|
| Description |
В результате изучения свойств и структуры тонких пленок, показано что свойства и структура тонких пленок значительно отличается от тех же параметров объемного материала. Физические процессы происходящие во время образования пленок обуславливают индивидуальную специфику свойств и структуры. Поэтому, одним из основных показателей качества металлических тонких пленок является отсутствие дефектов. В работе рассмотрены вопросы теории появления дефектов тонких электропроводящих пленок. Выполнен анализ влияния главных электрических параметров пленок на наличие дефектов структуры пленок. Показаны иные возможные виды дефектов пленок и определены способы их выявления |
|
| Date |
2018-06-25T10:35:37Z
2018-06-25T10:35:37Z 2017 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Особенности выявления дефектов тонких электропроводящих пленок / В. А.Светличный, Ю. Е. Хорошайло, О. В. Мулявко, А. В. Сова. // Вісник Нац. техн. ун-ту "ХПІ" : зб. наук. пр. Сер. : Електроенергетика та перетворювальна техніка. – 2017. – №4. – С. 72–77.
http://openarchive.nure.ua/handle/document/6345 |
|
| Language |
ru
|
|