Математические модели технологического процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных методом ионно-плазменного распыления
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Математические модели технологического процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных методом ионно-плазменного распыления
|
|
| Creator |
Гурин, В. Н.
Фирсов, А. Г. Гурин, Д. В. |
|
| Subject |
модели
диэлектрические пленки ионнно-плазменное траспыление |
|
| Description |
Статья состоит из двух разделов:Анализи методы получения наноструктурированных диэлектрических пленок, математическое моделирование процесса напыления диэлектрических пленок и определение оптимальных управляющих воздействий;выводов и рекомендаций по дальнейшему направлению исследований
В статье приведены математические модели процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных ионно-плазменным методом распыления кремния в атмосфере кислорода, азота и их смесей. Определены оптимальные управляющие воздействия параметров напыления, применение которых дает возможность получать качественные диэлектрические пленки с заданными параметрами. Приведеныe оптимальные управляющие воздействия могут быть использованы для АСУТП получения пленок. |
|
| Date |
2018-07-23T07:37:52Z
2018-07-23T07:37:52Z 2012 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Гурин В. Н. Математические модели технологического процесса напыления наноструктурированных диэлектрических пленок, полученных методом ионно-плазменного распыления /В. Н. Гурин, А. Г. Фирсов, Д. В. Гурин // Автоматизированные системы управления и приборы автоматики.Всеукраинский межведомственный научно-технический сборник.-2012-Выпуск 161-С.74-77
0135-1710 http://openarchive.nure.ua/handle/document/6624 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
Харьковский Национальный Университет Радиоэлектроники
|
|