Влияние пространственного заряда на динамику неосесимметричных пучков заряженных частиц
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Влияние пространственного заряда на динамику неосесимметричных пучков заряженных частиц
|
|
| Creator |
Галат, А. Б.
|
|
| Subject |
пространственный заряд
неосесимметричный пучок динамика |
|
| Description |
Рассмотрено влияние собственного заряда низкопервеансного неосесимметричного электронного пучка на форму его поперечного сечения и распределение плотности тока. Такие пучки используются, например, в установках электронолитографии. Оценки на основе аналитической модели дополнены численным расчетом с использованием метода трубок тока. Представлены результаты моделирования динамики пучка с прямоугольным сечением в поле одиночной осесимметричной линзы.
|
|
| Date |
2018-07-23T07:42:17Z
2018-07-23T07:42:17Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Галат А. Б. Влияние пространственного заряда на динамику неосесимметричных пучков заряженных частиц // Радиотехника. Всеукр. межвед. науч.-техн. сб.,2008. –Вып. 153. –С.134–138.
http://openarchive.nure.ua/handle/document/6626 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
ХНУРЕ
|
|