Моделирование диффузионных процессов при образовании слоев силицидов
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Моделирование диффузионных процессов при образовании слоев силицидов
|
|
| Creator |
Слипченко, Н. И.
|
|
| Subject |
силицид
образование силицидов интегральная схема |
|
| Description |
Представлен краткий обзор процесса образования силицидов. Рассмотрена диффузия с одной движущейся страницей
|
|
| Date |
2018-11-16T15:08:07Z
2018-11-16T15:08:07Z 1998 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Слипченко Н. И. Моделирование диффузионных процессов при образовании слоев силицидов / Н. И. Слипченко // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 1998. – Вып. 2. – С. 156-158.
http://openarchive.nure.ua/handle/document/7290 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
ХНУРЭ
|
|