Влияние параметров технологического процесса на электрофизические свойства диэлектрических пленок
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Влияние параметров технологического процесса на электрофизические свойства диэлектрических пленок
|
|
| Creator |
Невлюдов, І. Ш.
Гурін, В. М. Гурін, Д. В. |
|
| Subject |
диэлектрические пленки
вольтамперные характеристики электрические свойства пленок управляющие воздействия катодное распыление |
|
| Description |
Приводятся результаты экспериментальных исследований электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологичного процесса. Описаны основные факторы влияющие на свойства пленок, представлены графики зависимости от этих факторов.
|
|
| Date |
2018-11-22T14:07:16Z
2018-11-22T14:07:16Z 2018 |
|
| Type |
Abstract of Thesis
|
|
| Identifier |
Невлюдов И.Ш. Влияние параметров технологического процесса на электрофизические свойства диэлектрических пленок / И.Ш. Невлюдов, В.Н. Гурин, Д.В. Гурин // ХVII Міжнародна науково-технічна конференція «Фізичні процеси та поля технічних і біологічних об’єктів»: матеріали конференції (Кременчук, 2-4 листопада 2018 р.). – Кременчук: КрНУ, 2018. –с. 139-141
http://openarchive.nure.ua/handle/document/7339 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
Кременчуцький національний університет ім. М. Остроградського
|
|