Методи контролю структур топології поверхонь матеріалів виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Методи контролю структур топології поверхонь матеріалів виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС
|
|
| Creator |
Филипенко, О. І.
Чала, О. О. |
|
| Subject |
якість
контроль функціональні поверхні електронна техніка МЕМС МОЕМС інтерферометр |
|
| Description |
У статті розглядаються методи контролю якості поверхонь виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС для реалізації задачі технологічного забезпечення контролю якості та для подальшого удосконалення на етапі готової продукції. За проведеними дослідженнями обирається метод неруйнівного контролю якості, а саме інтерференційний метод контролю.
|
|
| Date |
2018-11-29T08:55:55Z
2018-11-29T08:55:55Z 2018 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Филипенко О.І. Методи контролю структур топології поверхонь матеріалів виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС / О.І. Филипенко, О.О. Чала, Ю.В. Бондаренко // Технология приборостроения. – 2018. – № 2. – с. 3–7.
http://openarchive.nure.ua/handle/document/7427 |
|
| Language |
uk
|
|
| Publisher |
Державне підприємство Науково-дослідний технологічний інститут приладобудування
|
|