Анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологического процесса
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологического процесса
|
|
| Creator |
Малик, Б. О.
Гурін, Д. В. |
|
| Subject |
диэлектрические пленки
вольтамперные характеристики электрические свойства пленок управляющие воздействия катодное распыление. |
|
| Description |
В статье приведен анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологичного процесса. Описаны основные факторы влияющие на свойства пленок, представлены графики зависимости от этих факторов. Проведенный анализ позволяет определить оптимальные управляющие воздействия, для построение математической модели получения диэлектрических пленок.
|
|
| Date |
2018-11-29T12:14:26Z
2018-11-29T12:14:26Z 2018 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Малик Б.О. Анализ электрофизических свойств диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологического процесса / Б.О. Малик, Д.В. Гурин // Технология приборостроения. – 2018. – № 2. – с. 27–30.
http://openarchive.nure.ua/handle/document/7437 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
Державне підприємство Науково-дослідний технологічний інститут приладобудування
|
|