Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния
|
|
| Creator |
Гайшун, В.Е.
Косенок, Я.А. Тюленкова, О.И. Туров, В.В. Гунько, В.М. |
|
| Subject |
Наноматериалы и нанотехнологии
|
|
| Description |
В статье описывается методика приготовления полирующих суспензий на основе наноразмерных частиц пирогенного кремнезема, приводятся их основные технологические характеристики, а также даются рекомендации по их использованию в химико-механической полировке полупроводниковых пластин монокристаллического кремния.
This article describes a preparation technique of polishing suspensions based on pyrogenic silicon dioxide nanoparticles, determines their basic technical characteristics, and also the guidelines on their usage are given in the mechano-chemical polishing process of semiconductor wafers of single-crystalline silicon. |
|
| Date |
2019-02-14T20:18:57Z
2019-02-14T20:18:57Z 2008 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Использование суспензий на основе пирогенного кремнезема для химико-механической полировки монокристаллического кремния / В.Е. Гайшун, Я.А. Косенок, О.И. Тюленкова, В.В. Туров, В.М. Гунько // Поверхность. — 2008. — Вип. 14. — С. 423-428. — Бібліогр.: 8 назв. — рос.
2617-5975 http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/147497 546.28 |
|
| Language |
ru
|
|
| Relation |
Поверхность
|
|
| Publisher |
Інститут хімії поверхні ім. О.О. Чуйка НАН України
|
|