Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
Vernadsky National Library of Ukraine
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge
|
|
| Creator |
Chunadra, А.G.
Sereda, К.N. Tarasov, I.K. |
|
| Subject |
Низкотемпературная плазма и плазменные технологии
|
|
| Description |
The paper presents measurements of the electron temperature and plasma concentration in both stationary and pulsed operation modes of a longitudinal planar MDC with a magnetically insulated anode in stationary and highcurrent pulsed operation modes with a high-voltage impulse voltage addition. The measurements were carried out according to the standard procedure for Langmuir double probes. The obtained volt-ampere characteristics of a double probe show that the electron temperature increases by a factor of two in the pulsed mode of operation of the magnetron in comparison with the steady-state regime, and the density of the pulsed plasma increases by three orders of magnitude. Представлено виміри температури електронів і концентрація плазми як у стаціонарному, так і в імпульсному режимах роботи повздовжньої планарної МРС з магнітоізольованим анодом у стаціонарному та сильнострумовому імпульсному режимах роботи з високовольтною імпульсною добавкою напруги. Виміри проводилися за стандартною методикою для двійних зондів Ленгмюра. Отримані вольт-амперні характеристики двійного зонда показують, що температура електронів збільшується в два рази в імпульсному режимі роботи магнетрона в порівнянні у стаціонарним режимом, а концентрація імпульсної плазми зростає на три порядки. Представлены измерения температуры электронов и концентрации плазмы как в стационарном, так и в импульсном режимах работы продольной планарной МРС с магнитоизолированным анодом в стационарном и сильноточном импульсном режимах работы с высоковольтной импульсной добавкой напряжения. Измерения проводились по стандартной методике для двойных зондов Ленгмюра. Полученные вольтамперные характеристики двойного зонда показывают, что температура электронов увеличивается в два раза в импульсном режиме работы магнетрона по сравнению со стационарным режимом, а плотность импульсной плазмы возрастает на три порядка. |
|
| Date |
2019-02-19T15:02:23Z
2019-02-19T15:02:23Z 2018 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Probe measurements of parameters of dense gasmetallic plasma in the inhomogeneous magnetic field of a planar magnetron discharge / А.G. Chunadra, К.N. Sereda, I.K. Tarasov // Вопросы атомной науки и техники. — 2018. — № 6. — С. 252-254. — Бібліогр.: 4 назв. — англ.
1562-6016 PACS: 51.50.+v, 52.25.Jm http://dspace.nbuv.gov.ua/handle/123456789/149062 |
|
| Language |
en
|
|
| Relation |
Вопросы атомной науки и техники
|
|
| Publisher |
Національний науковий центр «Харківський фізико-технічний інститут» НАН України
|
|