Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“
EIRZNTU - Electronic Institutional Repository of Zaporizhzhia National Technical University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“
Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“ для студентів спеці-альності 6.050801 „Мікро- та наноелектроніка“ денної й заочної форм навчання Методические указания к лабораторному практикуму по дисциплине „Технологические основы электроники. Тонкие пленки“ Methodical instructions for laboratory course in the discipline "Technology fundamentals of electronics. Thin films“ |
|
| Creator |
Жавжаров, Євген Леонідович
Жавжаров, Евгений Леонидович Zhavzharov, Evgen L. Коротун, Андрій Віталійович Коротун, Андрей Витальевич Korotun, Andriy V. Смирнова, Ніна Анатоліївна Смирнова, Нина Анатольевна Smirnova, Nina A. |
|
| Subject |
тонка плівка
плівкові резистори, конденсатори, індуктивності термічне випаровування магнетронне розпилення ВУП-4, ВУП-5 поверхневий опір адгезія структура плівки thin film film resistors, capacitors, inductance thermal evaporation magnetron sputtering VUP-4, VUP-5 surface resistance adhesion the film structure тонкая пленка пленочные резисторы, конденсаторы, индуктивности термическое испарение магнетронное распыление ВУП-4, ВУП-5 поверхностное сопротивление адгезия структура пленки |
|
| Description |
Методичні вказівки до лабораторного практикуму з дисципліни „Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки“ для студентів спеці-альності 6.050801 „Мікро- та наноелектроніка“ денної й заочної форм навчання / Укл.: Є. Л. Жавжаров, А. В. Коротун, Н. А. Смирнова. – Запоріжжя: ЗНТУ, 2014. – 54 с.
UK: Наведені методичні рекомендації та вказівки до виконання лабораторного практикуму з дисципліни "Технологічні основи електроніки. Тонкі плівки" EN: Provides guidelines and instructions to perform laboratory works on discipline "Technology fundamentals of electronics. Thin films" RU: Приведены методические рекомендации и указания к выполнению лабораторного практикума по дисциплине "Технологические основы электроники. Тонкие пленки" |
|
| Date |
2015-03-19T11:22:06Z
2015-03-19T11:22:06Z 2014 |
|
| Type |
Other
|
|
| Identifier |
http://eir.zntu.edu.ua/handle/123456789/89
|
|
| Language |
uk
|
|
| Publisher |
Запорізький національний технічний університет
|
|