Процессы прохождения пучков заряженных частиц в материальных средах
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Процессы прохождения пучков заряженных частиц в материальных средах
|
|
| Creator |
Воробйов, Геннадій Савелійович
Воробьев, Геннадий Савельевич Vorobiov, Hennadii Saveliiovych Пономарьова, Ганна Олександрівна Пономарева, Анна Александровна Ponomarova, Hanna Oleksandrivna Барсук, Іван Володимирович Барсук, Иван Владимирович Barsuk, Ivan Volodymyrovych Остапенко, Ю.О. |
|
| Subject |
ионная литография
іонна літографія ion lithography оптическая литография оптична літографія optical lithography |
|
| Description |
В связи с ограничениями оптической литографии, связанными с явлением дифракции, сравнительно недавно появилась технология нового поколения – ионная литография, в которой применяется прямое экспонирование сфокусированным пучком заряженных частиц. Определенный интерес в разработке таких литографических технологий высокого разрешения связан с возможностью преодоления трудностей при создании структур с размерами ниже 100 нм. При цитировании документа, используйте ссылку http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27619 |
|
| Publisher |
Издательство СумГУ
|
|
| Date |
2012-08-10T10:33:29Z
2012-08-10T10:33:29Z 2012 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Процессы прохождения пучков заряженных частиц в материальных средах [Текст] / Г.С. Воробьев, А.А. Пономарева, И.В. Барсук, Ю.О. Остапенко
// Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 16-21 квітня 2012 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми : СумДУ, 2012. - С.68.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27619 |
|
| Language |
ru
|
|