Получение сверхтонких металлических пленок на мягких полимерных поверхностях методом магнетронного распыления
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Получение сверхтонких металлических пленок на мягких полимерных поверхностях методом магнетронного распыления
|
|
| Creator |
Космінська, Юлія Олександрівна
Косминская, Юлия Александровна Kosminska, Yuliia Oleksandrivna Перекрестов, Вячеслав Іванович Перекрестов, Вячеслав Иванович Perekrestov, Viacheslav Ivanovych Корнющенко, Ганна Сергіївна Корнющенко, Анна Сергеевна Korniushchenko, Hanna Serhiivna Панасенко, Е.В. |
|
| Subject |
магнетронное распыление
магнетронне розпилення magnetron sputtering сверхтонкие металлические пленки надтонкі металеві плівки ultrathin metallic films |
|
| Publisher |
Издательство СумГУ
|
|
| Date |
2012-08-14T06:29:56Z
2012-08-14T06:29:56Z 2012 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Получение сверхтонких металлических пленок на мягких полимерных поверхностях методом магнетронного распыления [Текст] / Е.В. Панасенко, Ю.А. Косминская, В.И. Перекрестов, А.С. Корнющенко
// Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 16-21 квітня 2012 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми : СумДУ, 2012. - С. 89.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27660 |
|
| Language |
ru
|
|