Дослідження плівок, отриманих методом хімічного осадження
Electronic Archive of Sumy State University
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Дослідження плівок, отриманих методом хімічного осадження
|
|
| Creator |
Опанасюк, Надія Миколаївна
Опанасюк, Надежда Николаевна Opanasiuk, Nadiia Mykolaivna Курбатов, Денис Ігорович Курбатов, Денис Игоревич Kurbatov, Denys Ihorovych Бересток, Т.О. |
|
| Subject |
хімічне осадження
химическое осаждение chemical vapor deposition плівки пленки films |
|
| Publisher |
Видавництво СумДУ
|
|
| Date |
2012-08-14T06:27:46Z
2012-08-14T06:27:46Z 2012 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Бересток, Т.О.
Дослідження плівок, отриманих методом хімічного осадження [Текст] / Т.О. Бересток, Н.М. Опанасюк, Д.І. Курбатов
// Фізика, електроніка, електротехніка : матеріали та програма науково-технічної конференції, м. Суми, 16-21 квітня 2012 р. / Відп. за вип. С.І. Проценко. - Суми : СумДУ, 2012. - С. 94.
http://essuir.sumdu.edu.ua/handle/123456789/27658 |
|
| Language |
uk
|
|