Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃
Цифровой репозитарии Национального технического университета "Харьковский политехнический институт" (eNTUKhPIIR)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃
Film flexible capacitive converters based on the structure ITO/polyimide/Al₂O₃ |
|
| Creator |
Зайцева, Лілія Василівна
Хрипунов, Геннадій Семенович Зайцев, Роман Валентинович Хрипунова, Аліна Леонідівна |
|
| Subject |
тонкоплівковий перетворювач
ємнісний метод дефектоскопія металів thin film converter capacitive method defectoscopy of metals |
|
| Description |
У статті розглянута ключова проблема безрідинного акустичного контролю металевих виробів та запропоноване новітнє рішення для дефектоскопії в умовах промислового виробництва. Основною особливістю рішення є використання тонкоплівкових гнучких ємнісних перетворювачів на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ загальною товщиною не більше 20 мкм. На підставі проведеного дослідження структурних та електричних властивостей шарів такої структури визначені оптимальні умови їх отримання для максимально ефективного використання у якості ємнісних перетворювачів. Створено дослідний зразок тонкоплівкового ємнісного перетворювача для акустичного контролю металевих виробів на основі структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃. . The article considers the key issue of metal parts liquid free acoustic control and proposed innovative solutions for defectoscopy in industrial production. The main feature of the solution is using flexible thinfilm capacitive transducers based on the ITO/polyimide/Al₂O₃ structure with total thickness less than 20 microns. Based on the research of structural and electrical properties of layers with such stru cture it has been established the optimal conditions to maximize the efficiency of their using as capacitive transducers. A prototype of thinfilm capacitive transducer for metal parts acoustic control on the basis of Al/ITO/polyimide/Al₂O₃ structure it has been manufactured. |
|
| Date |
2019-04-01T10:15:24Z
2019-04-01T10:15:24Z 2014 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Плівкові гнучкі ємнісні перетворювачі на основі структури ITO/поліімід/Al₂O₃ / Л. В. Зайцева [та ін.] // Фізична інженерія поверхні = Physical surface engineering. – Харків : ХНУ ім. В. Н. Каразіна, 2014. – Т. 12, № 4. – С. 505-509.
http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/40489 |
|
| Language |
uk
|
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Publisher |
Харківський національний університет ім. В. Н. Каразіна
|
|