Дослідження структури ємнісних перетворювачів на основі тонкоплівкової структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃
Цифровой репозитарии Национального технического университета "Харьковский политехнический институт" (eNTUKhPIIR)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Дослідження структури ємнісних перетворювачів на основі тонкоплівкової структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃
Investigation of capacitive converters structure based on ITO/polyimide/Al₂O₃ thin-film composition |
|
| Creator |
Зайцева, Лілія Василівна
Хрипунов, Геннадій Семенович Зайцев, Роман Валентинович Горкунов, Борис Митрофанович Хрипунова, Аліна Леонідівна |
|
| Subject |
тонкоплівковий перетворювач
ємнісний метод дефектоскопія металів thin film converter capacitive method defectoscopy of metals |
|
| Description |
У статті розглянута ключова проблема безрідинного акустичного контролю металевих виробів та запропоноване новітнє рішення для дефектоскопії в умовах промислового виробництва. Основною особливістю рішення є використання тонкоплівкових гнучких шарів у ємнісних перетворювачах на основі структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃ загальною товщиною не більше 20 мкм. На підставі проведеного дослідження структурних та електричних властивостей шарів такої структури визначені оптимальні умови їх отримання для максимально ефективного використання у якості ємнісних перетворювачів. Створено дослідний зразок тонкоплівкового ємнісного перетворювача для акустичного контролю металевих виробів на основі структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃.
The article considers the key issue of metal parts liquid free acoustic control and proposed innovative solutions for defectoscopy in industrial production. The main feature of the solution is using flexible thin-film capacitive transducers based on the ITO/polyimide/Al₂O₃ structure with total thickness less than 20 microns. Based on the research of structural and electrical properties of layers with such structure it has been established the optimal conditions to maximize the efficiency of their using as capacitive transducers. A prototype of thin-film capacitive transducer for metal parts acoustic control on the basis of Al/ITO/polyimide/Al₂O₃ composition it has been manufactured. |
|
| Date |
2019-04-01T11:04:51Z
2019-04-01T11:04:51Z 2015 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Дослідження структури ємнісних перетворювачів на основі тонкоплівкової структури Al/ITO/поліімід/Al₂O₃ / Л. В. Зайцева [та ін.] // Сенсорна електроніка і мікросистемні технології = Sensor electronics and microsystem technologies. – Одеса : ОНУ ім. І. І. Мечникова, 2015. – Т. 12, № 2. – С. 42-47.
http://repository.kpi.kharkov.ua/handle/KhPI-Press/40491 |
|
| Language |
uk
|
|
| Format |
application/pdf
|
|
| Publisher |
Одеський національний університет ім. І. І. Мeчникова
|
|