Реализация импульсного режима питания магнетронно-распылительной системы под управлением микроконтроллера
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Реализация импульсного режима питания магнетронно-распылительной системы под управлением микроконтроллера
|
|
| Creator |
Корж, А. В.
Бородин, А. В. |
|
| Subject |
Магнетронно-распылительная система
Микроконтроллер |
|
| Description |
Technology application of high-quality thin films and coatings on a variety of products is critical for electronics, optics and other branches of engineering. The main problem consists of the low deposition rate, low efficiency of industrial sputtering systems, chemical reaction of the sprayed material with the reaction gas. In most cases, these problems are related to the power source of sputtering systems. This work is aimed at improving the efficiency of power supplies magnetron-sputtering systems.
|
|
| Date |
2019-04-22T12:45:00Z
2019-04-22T12:45:00Z 2017 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Корж А. В. Реализация импульсного режима питания магнетронно-распылительной системы под управлением микроконтроллера / А. В. Корж, А. В. Бородин // Радіоелектроніка та молодь у ХХІ столітті : зб. тез. доп. ХХI Харків. конф. молодих науковців, 25–27 квіт. 2017 р. – Харків, 2017. – С. 33.
http://openarchive.nure.ua/handle/document/8441 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
ХНУРЕ
|
|