Частотные методы измерения линейных наноразмеров
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Частотные методы измерения линейных наноразмеров
|
|
| Creator |
Мачехин, Ю. П.
Данелян, А. Д. Гарибашвили, Д. И. |
|
| Subject |
интерферометр
лазер |
|
| Description |
В лучших системах с применением лазерных интерферометров перемещений (ЛИП), которые созданы для метрологического обеспечения измерений длин в нанометровом диапазоне, обеспечиваются измерения малых длин в диапазоне с разрешающей способностью порядка 0,03-0,02 нм.
|
|
| Date |
2019-05-15T20:42:22Z
2019-05-15T20:42:22Z 2007 |
|
| Type |
Abstract of Thesis
|
|
| Identifier |
Мачехн Ю. П. Частотные методы измерения линейных наноразмеров. / Ю. П. Мачехин, А. Д. Данелян, Д. И. Гарибашвили // 1-я Международная научная конференция «электронная компонентная база. Состояние и перспективы развития » - 2008 - стр. 236-240
http://openarchive.nure.ua/handle/document/8690 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
ХНУРЭ
|
|