Численное моделирование высоколокального СВЧ теплового воздействия в технологии модификации полупроводниковых тонкопленочных структур
Електронного архіву Харківського національного університету радіоелектроніки (Open Access Repository of KHNURE)
Переглянути архів Інформація| Поле | Співвідношення | |
| Title |
Численное моделирование высоколокального СВЧ теплового воздействия в технологии модификации полупроводниковых тонкопленочных структур
|
|
| Creator |
Гордиенко, Ю. Е.
Пятайкина, М. И. Ларкин, С. Ю. Полищук, А. В. Проказа, А. М. Слипченко, Н. И. |
|
| Subject |
высоколокальный СВЧ нагрев
модификация СВЧ микроскопия |
|
| Description |
Исследуются особенности применения микроволнового излучения как средства высоколокального нагрева, отжига и перелегирования полупроводниковых слоистых структур при помощи ближнеполевых СВЧ излучателей с микроразмерной апертурой. Предлагается вариант такого модификатора на основе конусного коаксиального волновода. Основное внимание уделяется локализации тепловыделения и специфике пространственно-временного распределения температуры в зависимости от электрических и тепловых параметров объектов исследования. Показывается, что при определенном соотношении параметров пленки и подложки возможно также осуществить геттерирование дефектов из подложки.
|
|
| Date |
2019-05-31T12:21:17Z
2019-05-31T12:21:17Z 2013 |
|
| Type |
Article
|
|
| Identifier |
Численное моделирование высоколокального СВЧ теплового воздействия в технологии модификации полупроводниковых тонкопленочных структур / Ю. Е. Гордиенко, М. И. Пятайкина, С. Ю. Ларкин и др. // Радиоэлектроника и информатика : науч.-техн. журн. – Х. : ХНУРЭ, 2013. – № 4. – С. 8-13.
http://openarchive.nure.ua/handle/document/9074 |
|
| Language |
ru
|
|
| Publisher |
ХНУРЭ
|
|